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PL-3D Premium 3D光刻打印设备

更新时间:2023-04-12 14:32:57 作者:ob官方网站 来源:ob直播足球


  复杂三维微纳结构在微纳机电系统、生物医疗、组织工程、新材料、新能源、高清显示、微流控器件、微纳光学器件、微纳传感器、微纳电子、生物芯片、光电子和印刷电子等领域有着巨大的产业需求,然而现有的各种微纳制造技术无论从技术层面还是在生产率、成本、材料等方面还难以满足高效、低成本批量化复杂三维微纳结构的制造需求。

  现有的诸如光学光刻、电子束光刻、干涉光刻、激光微细加工、软光刻、纳米压印等微纳制造技术主要实现2D或者2.5D微纳结构(简单几何图形)制造,难以实现复杂真三维微纳结构的制造。而且现有的这些微纳制造方法还面临设备和掩模(或者模具)昂贵、制造成本高、周期长、可用材料少等问题。

  织雀系列3D光刻打印设备是托托科技自主研发生产的一款微纳3D打印设备,微纳加工设备。可进行高精度,高分辨率的微立体光刻作业。

  织雀系列微纳3D打印设备的光学精度可达1 µm,高性能无铁芯直线驱动电机保证了 极 佳 的对准套印精度并且可提供 100mm×100mm×40mm的大幅面立体结构拼接尺寸,而基于空间光调制器(DMD/DLP)的微立体光刻技术,在复杂三维微纳结构、高深宽比微纳结构以及复合材料三维微纳结构制造方面具有突出的潜能和优势,此外还具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料种类多、无需掩模或模具直接成型的优点。

  刻速度得以达到领 先水平。在PL-3D Ultra产品中,使用了扫描式光刻技术

  ,将曝光效率进一步提升一个数量级,做到了名副其实的ULTRA Speed。

  一键实现高速与高精度的模式切换。同一台设备,可实现1 μm, 2 μm, 5 μ

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